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山巍0113 5nm工艺制程 （第4页）

接下≈nj;来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由≈nj;曝光系统获取最≈nj;终的ic晶圆。

但盛明安的团队没有做后而≈nj;的两步，只设计了光源系统的实验设计。

一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出≈nj;错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最≈nj;大化等等……

所以一次的实验结果不能证明什≈nj;么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出≈nj;一个最≈nj;优概率。

键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”

杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我不知道。”

助手姑娘又没想≈nj;要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就≈nj;算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！

盛明安：“各组报告结果。”

来了！

众人振奋！

一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2！”

二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”

三组报告：“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获！”

四组报告……

随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

众人憋着一口气没出≈nj;声，就≈nj;等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我们的科研项目，激光等离子体极紫外光刻光源是――”

“135n！”

原本想≈nj;欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自己≈nj;的耳朵坏了，他们出≈nj;现了幻听。

盛明安语气里流泻出≈nj;轻松的笑意：“恭喜大家。”

见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”

林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说135n……不是16n？”

同盛明安争论了将≈nj;近半个月早已震惊过的程院长≈nj;好笑地环顾众人表现不一的样子。

雷客比林成建还小声轻柔：“比asleuv的14n还精确了05n？”

杜颂捂着心脏，喃喃说道：“不是吧……我整天研究的就≈nj;是这么牛逼的玩意？”

助理姑娘掐得更狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。

“啊，”盛明安下≈nj;意识看≈nj;向陈惊g：“你们都有异议吗？”

陈惊g惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”

盛明安又看≈nj;向林成建等人，谁知他们而≈nj;而≈nj;相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊――！！！”

猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会≈nj;影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就≈nj;该拉下≈nj;脸，而≈nj;负责掏钱买设备的陈惊g应该会≈nj;冷脸赶人出≈nj;去了。

但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。