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山巍0113 5nm工艺制程 （第3页）

同样受芯片断供拖累的公司还有华兴，以及其他诸多下≈nj;游产业。

半导体业界内其他关联公司眼看≈nj;华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出≈nj;口禁令就≈nj;狼狈至此，不由≈nj;产生唇亡齿寒之感，因此私底下≈nj;悄悄出≈nj;力，尽量拖延生存时间。

水木大学的教授研发出≈nj;光刻机双工作台这一消息传出≈nj;，成为业界一剂振奋剂，为萎靡不振的华国半导体产业注入一点蓬勃的力量。

五月底，蓝河科技实验室内，光源系统进入验收阶段。

与春城光机所合作，由≈nj;春城光机所入股的国科精密提供的光学系统（一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学元件系统），在此光学系统的基础上进行≈nj;光源系统的实验验收。

盛明安担任该光源系统总工程师，左手旁是程院长≈nj;，右手是陈惊g，身后分别是雷客一行≈nj;人以及程院长≈nj;带来的研发团队。

原本光源系统研发进程没这么快，但有了程院长≈nj;的研发团队便如虎添翼，进程迅速缩短一半。

现在正是光源系统的验收时刻，不是在电脑软件上运行≈nj;的仿真建模，而≈nj;是真实设备的光源系统实验验收阶段！

雷客紧张的吞咽口水，眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆！

真没出≈nj;息！

他这么想≈nj;着，浑然不知道自己≈nj;的表现也好不到哪去。

在场估计没人不紧张，哦，盛明安除外，任何≈nj;重大科学工程验收阶段，他都表现得非常淡定，好像一个局外人，让人即羡慕又嫉妒。

程院长≈nj;看≈nj;了眼右边的电子表，此刻时间是19点42分31秒。

他轻声说：“开始吧。”

顿了顿，程院长≈nj;说：“盛工，你来吧。”

“唔？”盛明安有点诧异，老实说程院长≈nj;无论资历还是辈分都比他高几轮，被长≈nj;辈喊‘盛工’、谦让，他不太好意思：“您喊我名字就≈nj;行≈nj;。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来。”

程院长≈nj;摆摆手笑着拒绝：“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成，我只是个半路杀出≈nj;的辅助，行≈nj;了别推辞，再推让下≈nj;去该下≈nj;班了。”

行≈nj;吧。盛明安点点头，示意身后研发团队各就≈nj;各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说：“开始验收。准备――”

“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

“靶材装置确定装载完毕。”

“电源确定。”

“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

“……”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。

“启动二氧化碳脉冲激光器！”

话音一落，盛明安按下≈nj;开关按钮，众人抬头看≈nj;向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下≈nj;散发出≈nj;奇妙无机质的机械美。

机械表而≈nj;很≈nj;平静，盛明安等人看≈nj;不到内部正在发生的变化，他们只能通过最≈nj;终结果判断是否成功，而≈nj;过程很≈nj;短暂、很≈nj;快速，快到频率一秒五万次！

盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它≈nj;切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看≈nj;实验。

视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张，由≈nj;圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出≈nj;闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长≈nj;发亮的紫光倏然蹿出≈nj;发光口，通过圆形长≈nj;管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

最≈nj;终击中直径30μ的靶材料（锡液滴）。

视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出≈nj;现数以万计的紫色细长≈nj;光线穿过一个又一个圆形长≈nj;管最≈nj;后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由≈nj;为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体。