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第470章 又回到老问题了（第2页）

映入高振东眼帘的，是一个略显圆柱形的金属物体，大部分光学系统都被包裹在内，侧面靠中间位置开了一个口，这个口子是用来放掩膜的。

高振东和负责机械的同志仔细端详着这个机器，光学所的同志向他们介绍：“这个机器工作波长355nm，光学调制传递函数在理想位置大概是o。63左右，光程差小于四分之一波长，数值孔径o。o29，放大倍率1。”这些高振东就是真的不懂了，除了355nm的工作波长和放大倍率1之外，其他的他都不清楚：“李工，这意味着什么？”

李工不以为意，这位毕竟不是搞光学的：“这意味着他的分辨率为9μm。”

9μm？高振东一下子就炸了，这个分辨率，搭配较小的形变，1oμm线宽不是梦啊。

“李工，那图像的形变情况怎么样？”

“很小，最大场曲在15μm范围内，最大像散在7μm左右，总体畸变小于1ppm，像面不均匀性小于2%，我想对于你们的要求是完全没有问题的。”李工笑道，对此他也颇为自得。

这个机器，高振东要求的投影直径是16omm左右，1ppm的畸变，意味着不到1μm，这对高振东的想法来说是完全足够了。

高振东哈哈大笑：“李工，太谢谢你们了！辛苦辛苦！”

李工笑道：“能满足你们的要求就好，今天时间也比较晚了，具体的其他事务，我们明天继续怎么样？”

高振东在兴奋中连连点头：“好，今天就不麻烦同志们了，我们明天再继续。”

当天晚上，高振东辗转反侧，想了半个晚上。

第二天一早，高振东带着人，早早的就来到试验室门口，李工已经等在那里了，一行人换好衣服进去。

高振东进去之后，李工开始张罗着叫人用标准掩膜，进行一遍完整的测试，毕竟他昨天说归说，但是完整的测试流程是要走一遍给高振东他们看的，这算是甲方来验收了。

试验一边进行，高振东一边拿着整套光学系统的指标在看，他想看看能不能达到自己的想法。

看着看着，他皱了一下眉头。

“李工，这套系统的透光率，是3o%多？”高振东问道。

他没好说“只有3o%多”这个话，有点儿不太好。

李工脸上露出了一点儿不好意思的神色：“嗯，355nm这个波长已经进入紫外波长了，透光率天生就比较差，加上材料的原因，就比较难看了。”

紫外线波长是1onm到4oonm，能量高，但是穿透性差，这个有点像辐射中的阿尔法射线，能量最高，但是一般常见的阿尔法射线一张打印纸都能挡得住。

这个透光率，还是因为355nm波长比较长，穿透性还没恶化到底的原因。

这让高振东感到有些难办了，这样一来，如果第二步需要微缩投影，加上微缩那一套光学系统，透光率会进一步恶化，虽然那一步是要聚焦的，但是哪怕是现在，这个透光率都已经到了危险的边缘了，激光功率做大，不是大力出奇迹那么简单的，能保留越高的透光性越好。

高振东现在也不好说，毕竟勉强够用，只是问了一句：“现在的材料透光率多少？”

“4oonm波长1omm透光率不小于99%，3oonm波长1omm透光率不小于3o%，这已经是增加了增透膜之后的效果了。”

嚯，这可下降得够快的，难怪数据这么难看，355nm比3oonm肯定是要好得多，但是架不住一套光学系统里面有多个透镜。

高振东点点头，一边看着试验，一边说出了自己的想法。

“李工，这个系统的分辨率，在第二步的时候能不能做到5μm乃至更好一点？”

他想搏一搏。

李工听了他的话，摇了摇头。

“很难，现在这个，已经是我们的极限了，别的不说，加工成本就极为高昂，再提高到你说的那个程度，我们现在这种人工加工再优选的方法就已经不一定实用，加工成本将极为高昂，完全没法量产。”

高振东没有被吓住：“如果不计成本，只要一套或者几套呢？”

李工眼睛一亮，然后又暗淡下来：“那加工倒是有可能，但是再提高的话，我们的材料撑不住，依然没有意义。”

“材料？什么材料？”高振东打破砂锅问到底。

“光学玻璃，我们现在用的是冕牌光学玻璃，其参数如透光性、热膨胀系数等不是太好，要么影响光学调制传递函数这些关键指标，要么影响其环境适应性，微小的温度波动都可能造成性能的劣化，就现在这个，都是有严格的工作温度范围要求的。”

又回到老问题上了，材料。

冕牌光学玻璃，不是一个品牌，而是光学玻璃的种类。

（本章完）